晶圓清洗機(jī)
晶圓切割后的洗凈。可通過(guò)人機(jī)界面任意設(shè)定清洗類(lèi)型、流量、旋轉(zhuǎn)速度、清洗時(shí)間、清洗位置及清洗流程，達(dá)到有效果且有效率的清洗 尺寸 寬*深*高 500mm x 600mm x 1600mm
●通過(guò)人機(jī)界面設(shè)置好清洗流程及參數(shù) ●人工將晶圓放入清洗槽中，蓋上清洗蓋，按Start開(kāi)始清洗 ●清洗完成后，人工取出晶圓
設(shè)備同時(shí)搭載3種噴嘴（氣體噴嘴、二流體噴嘴、一流體噴嘴），通過(guò)智能切換，可不停機(jī)切換清洗類(lèi)型，除了標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的高壓清洗噴嘴之外，還可選擇水汽二流體清洗、清洗液清洗、潔凈氣體噴淋、甩干
晶圓清洗
可設(shè)置清洗流程
搭載多種噴嘴
多種清洗模式
所屬分類(lèi)：
半導(dǎo)體
產(chǎn)品詳情
設(shè)備同時(shí)搭載3種噴嘴（氣體噴嘴、二流體噴嘴、一流體噴嘴），通過(guò)智能切換，可不停機(jī)切換清洗類(lèi)型，除了標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格的高壓清洗噴嘴之外，還可選擇水汽二流體清洗、清洗液清洗、潔凈氣體噴淋、甩干
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自動(dòng)晶圓補(bǔ)膠機(jī)
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●具備膠筒加熱功能 ●可快速切換點(diǎn)膠類(lèi)型
●測(cè)試精度高、使用壽命長(zhǎng)、維護(hù)方便； ●采用上下式氣盤(pán)供給材料，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于維護(hù)
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